激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標準測量各項參數(shù)，如線形位置精度、重復定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機床動態(tài)特性測量與評估，回轉坐標分度精度標定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
產品具有測量精度高、測量速度快、*高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等，具有高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。
功能特點：
測量精度高：以激光干涉技術為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能�？梢詸z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準機床的回轉軸。
可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。
具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等。
內置國內外通用的標準，如國標（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等�？梢罁鞣N不同的機床標準分析處理數(shù)據，并可打印相應的曲線圖和報告。
可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)�？蛇x擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償。
測量記錄采用集中式數(shù)據庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據輸出到Word、Excel文檔。
安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。
技術參數(shù)：
系統(tǒng)性能
測量方式：單頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%
存儲溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測量
測量距離：0-40m
測量精度：0.5ppm (0-38℃)
測量分辨率：1nm
測量*大速度：4m/s
