激光干涉儀可對(duì)機(jī)床、三測(cè)機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量各項(xiàng)參數(shù)，如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機(jī)床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估，回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、*高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有高的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
功能特點(diǎn)：
測(cè)量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米級(jí)；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長(zhǎng)期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測(cè)功能�？梢詸z測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。
可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。
具有動(dòng)態(tài)測(cè)量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測(cè)量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)量與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。
內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，如國(guó)標(biāo)（GB）、ISO（國(guó)際）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和報(bào)告。
可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)�？蛇x擇手動(dòng)或自動(dòng)對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理，可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。
安裝方便：基本重量為15kg，簡(jiǎn)單便攜。
技術(shù)參數(shù)：
系統(tǒng)性能
測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
環(huán)境溫度范圍：0~38℃，環(huán)境濕度：0~95%
存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測(cè)量
測(cè)量距離：0-40m
測(cè)量精度：0.5ppm (0-38℃)
測(cè)量分辨率：1nm
測(cè)量*大速度：4m/s
