所有R5/RA系列真空泵具有下列之共同特性:

1.   設計精密.結構堅固.重量輕.易于安裝及維護.

2.   空氣冷卻(氣冷式).

3.   值結式驅(qū)動,可避免轉動皮帶及齒輪之松弛或損耗.

4.   含高效率油霧過濾器,不須將氣體排出室外.

5.   進氣口有逆止閥,當泵浦停止時,此逆止閥可隔離泵浦于系統(tǒng),避免真空油逆流.

6.   低震動,不需用基礎螺拴固定泵浦.

7.   運轉聲音小.

8.   具氣體壓載閥,可適用于蒸氣之制程.

9.   即在真空度0.5mbar到40mbar之間進入泵浦入口之水蒸氣,會從泵浦出氣口完全排出,而不會在泵浦內(nèi)發(fā)生凝結現(xiàn)象.