與一般的氣體滲氮相比，離子滲氮的特點：

——可適當(dāng)縮短滲氮周期

——滲氮層脆性小

——離子氮化有凈化表面作用，能去除工件表面的鈍化膜，可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮

——經(jīng)離子滲氮的工件氮化層致密性好，硬度高，耐磨性、抗咬合性及抗蝕性等方面均優(yōu)于氣體滲氮。

——由于離子氮化可以在更低的溫度下進(jìn)行，真空加熱、真空冷卻可以控制加熱和冷卻速度，使之均勻，所以變形量比氣體滲氮要小