全新的Precis® 200是基于Micro-Metric的Innova晶圓量測系統(tǒng)開發(fā)而來，采用了VMM 公司先進的設(shè)計和技術(shù)。
, 新款Precis 包含了很多可配置選項，使設(shè)備更加通用，耐用以及可靠。

擴展了Z軸范圍 – 2.5mm, 5mm or 100mm 透射照明 完整電子繪圖 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 標準 符合人體工程學(xué)的操作員控制臺 ，帶有隱藏鍵盤托盤, 可調(diào)節(jié)高度和角度的控制面板和顯示器, SEMI S8 符合 全自動顯微鏡，所有設(shè)置計算機控制 分辨率像素攝像頭  可測組件很廣泛, 可選CAD導(dǎo)入 以及完整的幾何尺寸和公差導(dǎo)入。 MMWin – 晶圓片 和Mask計量軟件 –晶圓片的重要尺寸和迭置重合測量, 滑塊 ABS,光掩模和平板顯示器. 標準                        可選 X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5               200 x 200 x 100 載重:                 12 kg XY精度:                    E1=(0.25+2L/1000)um Z 精度:                     E1=(0.25)um (with use of a 100X lens) 分辨率：                    0.01 微米 視場測量精度和重復(fù)性：0.01 μm (100x) 直流伺服馬達驅(qū)動