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少子壽命測量儀BCT-400

  • 發(fā)布時間:2024-07-12 08:37:22,加入時間:2012年07月03日(距今4816天)
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BCT-400測量系統(tǒng)不需要做表面鈍化就能直接測量單晶和多晶硅(錠或塊)的少子壽命.

因為少子壽命作為衡量生長和缺陷含量的的最敏感的技術(shù)參數(shù),這個工具直接獲得長硅的質(zhì)量參數(shù)。

Sinton BCT-400

是基于渦流傳感器和紅外光致光電導(dǎo)方法直接測量單晶或者多晶硅棒體少子壽命的設(shè)備,具有瞬態(tài)和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)兩種測量模式。該設(shè)備可探測3mm 深度范圍少子壽命,并能輸出不同載流子注入水平下的少子壽命值,可實現(xiàn)低電阻率硅單晶少子壽命測量,并能通過軟件端光強偏置實現(xiàn)單晶缺陷密度計算。

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