等離子滲氮簡介

離子滲氮法是由德國人B.Berghaus于1932年發(fā)明的。目前，我國在離子滲氮的某些理論和技術(shù)方面已處于世界領(lǐng)先水平。該法在0.1-10Torr的含氮?dú)夥罩�，以爐體為陽極，被處理工件為陰極，在陰陽極間加上數(shù)百伏的直流電壓，由于輝光放電現(xiàn)象便會產(chǎn)生象霓虹燈一樣的柔光覆蓋在被處理工件的表面。此時，已離子化了的氣體成份被電場加速，撞擊被處理工件表面使其加熱。同時依靠濺射及離子化作用等進(jìn)行滲氮處理。

與氣體滲氮相比，離子滲氮具有許多優(yōu)點(diǎn)，主要表現(xiàn)在 ：

1、離子滲氮是在真空中進(jìn)行，因而可獲得無氧化的加工表面，也不會損壞被處理工件的表面光潔度。而且由于是在低溫下進(jìn)行處理（380℃起即可進(jìn)行滲氮處理），被處理工件的變形量極小，尺寸穩(wěn)定性好，可以滿足精密模具及高精