等離子滲氮簡介

離子滲氮法是由德國人B.Berghaus于1932年發(fā)明的。目前，我國在離子滲氮的某些理論和技術方面已處于世界領先水平。該法在0.1-10Torr的含氮氣氛中，以爐體為陽極，被處理工件為陰極，在陰陽極間加上數百伏的直流電壓，由于輝光放電現象便會產生象霓虹燈一樣的柔光覆蓋在被處理工件的表面。此時，已離子化了的氣體成份被電場加速，撞擊被處理工件表面使其加熱。同時依靠濺射及離子化作用等進行滲氮處理。