· 性能
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測量步距 |
0.244 µm 正弦/余弦信號按 12 位細分 |
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測量長度 |
≤ 940 mm |
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周期長度 |
1 mm |
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移動速度 |
≤ 10 m/s, 1.3 m/s, 直至產(chǎn)生可靠的絕對位置 |
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重復(fù)精度 |
< 5 µm |
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系統(tǒng)精確度 |
± 10 µm (+20 °C) |
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測量值遲滯 |
< 10 µm |
· 接口
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編碼類型 |
二進制 |
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可用存儲空間 |
1,972 Byte (E2PROM 2048) |
· 電氣參數(shù)
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供電電壓 |
7 V DCV DC |
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建議供電電壓 |
8 V DC |
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