DRF羅茨真空泵
功 率:1.1~11kW
抽氣速率:250~4300m³/hr
冷卻方式:≤60DB(A)
應(yīng)用領(lǐng)域
工業(yè):醫(yī)療技術(shù)、工業(yè)檢漏、電子束焊接、真空隔離、燈具燈管制造、熱處理、真空干燥,凍干、真空爐,冶金工程。
研發(fā):核子研究、融化技術(shù)、等離子體研究、粒子加速器、空間模擬、低溫研究、基本粒子物理、納米技術(shù)、生物技術(shù)。
涂層、鍍膜:平板顯示器、LED/OLED、硬盤(pán)涂層、光伏電池、玻璃鍍層、CD-DVD-藍(lán)光、光學(xué)鍍膜、耐磨涂層。
半導(dǎo)體:光刻,平面印刷、物理氣相沉積PVD、化學(xué)氣相沉積CVD、等離子刻蝕、離子注入、光束注入、檢視、粘合、分子束外延。
應(yīng)用領(lǐng)域
工業(yè):醫(yī)療技術(shù)、工業(yè)檢漏、電子束焊接、真空隔離、燈具燈管制造、熱處理、真空干燥,凍干、真空爐,冶金工程。
研發(fā):核子研究、融化技術(shù)、等離子體研究、粒子加速器、空間模擬、低溫研究、基本粒子物理、納米技術(shù)、生物技術(shù)。
涂層、鍍膜:平板顯示器、LED/OLED、硬盤(pán)涂層、光伏電池、玻璃鍍層、CD-DVD-藍(lán)光、光學(xué)鍍膜、耐磨涂層。
半導(dǎo)體:光刻,平面印刷、物理氣相沉積PVD、化學(xué)氣相沉積CVD、等離子刻蝕、離子注入、光束注入、檢視、粘合、分子束外延。