由于擴(kuò)散泵和油增壓泵起動(dòng)時(shí)間長(zhǎng),在周期性操作的真空設(shè)備中,當(dāng)真空室裝料和卸料的時(shí)候,往往為了縮短工作周期而不停止主泵,將高真空閥門和前級(jí)管道閥門關(guān)閉,使主泵仍處于工作狀態(tài)。由于閥門等總是有極少量的漏氣以及閥門和泵內(nèi)的表面放氣,經(jīng)過(guò)一定時(shí)間后,主泵泵腔內(nèi)的壓力增加,超過(guò)泵工作液的允許壓力而使泵油蒸氣氧化。為了解決這個(gè)問(wèn)題,一個(gè)辦法是用前級(jí)泵繼續(xù)抽出主泵中的氣體,但此時(shí)主泵內(nèi)排出的氣體量很小,出現(xiàn)前級(jí)泵大馬拉小車現(xiàn)象, 浪費(fèi)能源。為此可采用另一個(gè)辦法,停止前級(jí)泵工作,關(guān)閉前級(jí)管道閥門,在主泵出口處設(shè)置維持泵或儲(chǔ)氣罐,這樣就可以保證即能排出主泵內(nèi)的氣體,又可以節(jié)省能源消耗。儲(chǔ)氣罐不能做得很大,它只能用在以擴(kuò)散泵為主泵的小型真空機(jī)組上。而維持泵可用在配置大型主泵的真空機(jī)組中。

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