陶瓷激光加工按照加工材料的尺寸大小和加工的精度要求,將目前的激光加工技術(shù)分為三個(gè)層次:
1、大型件材料激光加工技術(shù),以厚板(數(shù)毫米至幾十毫米)為主要對(duì)象,其加工精度一般在毫米或者亞毫米級(jí);
2、精密激光加工技術(shù),以薄板(0.1~1.0mm)為主要加工對(duì)象,其加工精度一般在十微米級(jí);
3、激光微細(xì)加工技術(shù),針對(duì)厚度在100μm以下的各種薄膜為主要加工對(duì)象,其加工精度一般在十微米以下甚至亞微米級(jí)。
在機(jī)械行業(yè)中,精密通常是指表面粗糙度小、各種公差(包括位置、形狀、尺寸等)范圍小。但本文所說(shuō)的“精密”一詞,是指被加工區(qū)域的縫隙小,意即加工所能達(dá)到的極限尺寸小。在上述三類激光加工中,大型件的激光加工技術(shù)已經(jīng)日趨成熟,產(chǎn)業(yè)化的程度已經(jīng)非常高,已有不少的文獻(xiàn)進(jìn)行了綜述;激光微細(xì)加工技術(shù)如激光微調(diào)、激光精密刻蝕、激光直寫技術(shù)等也已在工業(yè)上得到了較為廣泛的應(yīng)用,有關(guān)的綜述報(bào)道亦較多;本文將重點(diǎn)對(duì)激光精密加工技術(shù)進(jìn)行討論。為了比較方便,下文所說(shuō)的精密加工所針對(duì)的加工對(duì)象只是薄板mm)。
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梁經(jīng)理