真空檢漏工作針對的就是漏氣,也叫實漏,是指氣體通過真空系統(tǒng)上的漏孔或間隙,從高壓側(cè)流向低壓側(cè)。有實漏,然后對應(yīng)的有一個虛漏,它是指泄漏的氣體是由于材料放氣、解吸、凝結(jié)氣體的再蒸發(fā)或系統(tǒng)內(nèi)的死空間氣體流出等原因使真空系統(tǒng)或容器壓力升高,這也是真空檢漏工作需要排除的。
此外其他的一些基本概念:氣密性是指真空系統(tǒng)或容器壁對空氣不可滲透程度的一種性能表征;漏孔,真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統(tǒng)或容器中;漏率,及漏氣速率,是指單位時間內(nèi)通過漏孔或間隙流入到真空系統(tǒng)或容器的氣體量;最小可檢漏率,是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的最小漏率;檢漏靈敏度,也叫有效靈敏度,指檢漏儀器在zui
佳工作狀態(tài)下能檢出的最小漏率;反應(yīng)時間,也稱響應(yīng)時間,是指從檢漏方法開始實施(如噴射示漏氣體)到指示方法或儀器指示值上升到其zui
大值的63%時所需要的時間;消除時間,是指從檢漏昂發(fā)停止(如停止噴吹示漏氣體)到指示方法或儀器指示值下降到停止值的37%時所需的時間;漏孔堵塞現(xiàn)象,指由于真空檢漏作業(yè)操作不當導(dǎo)致塵埃或液體堵塞漏孔,檢漏時似乎不漏氣,但一經(jīng)排氣就會出現(xiàn)漏氣的一種現(xiàn)象。
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