Dupont Kalrez密封圈8085

Dupont Kalrez密封圈9100

Dupont Kalrez密封圈8002

Kalrez® 9100 – 一種琥珀色半透明產(chǎn)品，專門針對(duì)沉積工藝應(yīng)用，即 HDPCVD、PECVD、SACVD、金屬 CVD、ALD 等。

Kalrez® 9300 – 適用于所有蝕刻工藝的棕色產(chǎn)品。它專門設(shè)計(jì)用于等離子體環(huán)境是離子和自由基組合的應(yīng)用。

Kalrez® 9500 – 一種棕褐色產(chǎn)品，專門用于使用臭氧進(jìn)行處理的沉積工藝。它專門設(shè)計(jì)用于等離子環(huán)境更“化學(xué)”的應(yīng)用。

Kalrez® 8002 – 一種清澈透明的產(chǎn)品，適用于“精選”等離子工藝應(yīng)用，即沉積、蝕刻、灰化/剝離。

Kalrez® Sahara™ 8085 – 米色通用產(chǎn)品，用于蝕刻、灰化/剝離和沉積工藝應(yīng)用，即 HDPCVD、PECVD 和 SACVD。

Kalrez® 8900 – 一種專為半導(dǎo)體熱處理（即氧化、擴(kuò)散爐、金屬 CVD、ALD 和 LPCVD）開發(fā)的黑色產(chǎn)品。

Kalrez® Sahara™ 8475 – 一種白色產(chǎn)品，專門開發(fā)用于滿足與半導(dǎo)體熱工藝中密封應(yīng)用相關(guān)的挑戰(zhàn)性要求，即氧化、擴(kuò)散、熔爐、LPCVD、RTP 和燈退火。

Kalrez 8575 - 一種用于“選擇”蝕刻、灰化/剝離和沉積工藝應(yīng)用的白色產(chǎn)品。它在基于氧和氟的等離子體中具有極低的重量損失、低釋氣和出色的彈性恢復(fù)特性。

Kalrez® 6375UP – 適用于濕法工藝應(yīng)用的黑色產(chǎn)品。該產(chǎn)品對(duì)所有類型的濕法化學(xué)品、酸和堿都具有出色的耐化學(xué)性。

Kalrez® 粘合門密封件 – 有 9100、8002 和 Sahara® 8085 可供選擇，與用于蝕刻、灰化/剝離、HDPCVD、PECVD、SACVD、金屬 CVD 和 ALD 晶片的傳統(tǒng) O 形圈相比，這些密封件顯著提高了顆粒生成和密封性能處理應(yīng)用程序。