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Z-INSERT 100
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Z-INSERT 200
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Z-INSERT 300
|
運動范圍(µm)
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100
|
200
|
300
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分辨率(nm)
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0,1
|
0,2
|
0,3
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典型的噪聲基準(nm)
|
0,01
|
0,02
|
0,03
|
全范圍重復性(nm)
|
0,2
|
0,4
|
0,6
|
線性化(典型的)
|
0,02%
|
0,02%
|
0,02%
|
諧振頻率(hz)
|
500
|
450
|
350
|
剛度 (N/µm)
|
0,6
|
0,6
|
0,4
|
最da負載(kg)-水平使用
|
1
|
1
|
1
|
最da負載(kg)-垂直使用
|
0,5
|
0,5
|
0,5
|
傳感器
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Silicon HR sensor
|
Silicon HR sensor
|
Silicon HR sensor
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尺寸:W x L x H (mm)
|
109,80 x 159,80 x 19,10
|
109,80 x 159,80 x 19,10
|
109,80 x 159,80 x 19,10
|
材料
|
Al
|
Al
|
Al
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電纜長度(m)
|
2
|
2
|
2
|
推jian控制器
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Standard
|
Standard
|
Standard
|
|