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FOC100
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FOC200
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FOC300
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運(yùn)動范圍(µm)
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100
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200
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300
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分辨率(nm)
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0,1
|
0,2
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0,3
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典型的噪聲基準(zhǔn)(nm)
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0,01
|
0,02
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0,03
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全范圍重復(fù)性(nm)
|
0,2
|
0,4
|
0,6
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線性化(典型的)
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0,02%
|
0,02%
|
0,02%
|
諧振頻率(hz)
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500
|
350
|
250
|
剛度 (N/µm)
|
0,6
|
0,4
|
0,3
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最da負(fù)載(kg)-水平使用
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0,5
|
0,5
|
0,5
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最da負(fù)載(kg)-垂直使用
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0,5
|
0,5
|
0,5
|
傳感器
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Silicon HR sensor
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Silicon HR sensor
|
Silicon HR sensor
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尺寸:W x L x H (mm)
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53,6 x 64,2 x 34,50
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53,6 x 64,2 x 34,50
|
53,6 x 64,2 x 34,50
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材料
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Al
|
Al
|
Al
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電纜長度(m)
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2
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2
|
2
|
推jian控制器
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Standard
|
Standard
|
Standard
|
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