|
|
HS1.30 APERTURE |
HS1.50 APERTURE |
HS1.70 APERTURE |
|
運(yùn)動(dòng)范圍（µm） |
30 |
50 |
70 |
|
分辨率（nm） |
0,03 |
0,05 |
0,07 |
|
典型的噪聲基準(zhǔn)（nm） |
0,003 |
0,005 |
0,007 |
|
全范圍重復(fù)性（nm） |
0,06 |
0,1 |
0,14 |
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線性化（典型的） |
0,02% |
0,02% |
0,02% |
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諧振頻率（hz) |
4000 |
4000 |
4000 |
|
剛度 (N/µm) |
3 |
3 |
3 |
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最da負(fù)載（kg）-水平使用 |
1 |
1 |
1 |
|
最da負(fù)載（kg）-垂直使用 |
0,5 |
0,5 |
0,5 |
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傳感器 |
Silicon HR sensor |
Silicon HR sensor |
Silicon HR sensor |
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尺寸：W x L x H (mm) |
62,5 x 96,10 x 12,6 |
62,5 x 116,10 x 12,6 |
62,5 x 138,10 x 12,6 |
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材料 |
Al |
Al |
Al |
|
電纜長(zhǎng)度（m） |
2 |
2 |
2 |
|
推jian控制器 |
Standard or High Speed |
Standard or High Speed |
Standard or High Speed |
