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ITO粉末和ITO靶材是三氧化二銦和二氧化錫的混合物,是ITO薄膜制備的重要原料,ITO薄膜由于對可見光透明和導(dǎo)電性良好的特性,廣泛應(yīng)用于液晶顯示玻璃、幕墻玻璃和飛機、汽車上的防霧擋風玻璃等。 ITO靶材主要質(zhì)量指標 化學成分In2O3 SnO2=9010(wt%) 純度≥99.99% 相對密度~99% 密度均勻性偏差≤±0.3% 相結(jié)構(gòu)單一立方In2O3相 失氧率<=3% 單片尺寸250mm x 200mm ,厚度可按用戶要求任意。 ITO靶主要用于ITO膜透明導(dǎo)電玻璃的制作,后者是制造平面液晶顯示的主要材料,在電子工業(yè)、信息產(chǎn)業(yè)方面有著廣闊而重要的應(yīng)用。靶材的主要性能指標為高純度≥99.99%;高密度,相對密度≥92%
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