一、設(shè)備簡(jiǎn)介
NE-PE60F 是一款大型工業(yè)用真空等離子處理系統(tǒng)，設(shè)備配備大功率、大腔體、密度大、高穩(wěn)定性，適用于大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)。設(shè)備采用進(jìn)口品牌高性能1級(jí)機(jī)械旋片真空泵+2級(jí)羅茨泵快速產(chǎn)生超低的真空壓強(qiáng)。同時(shí)根據(jù)客戶工藝要求，對(duì)真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體，采用進(jìn)口高品質(zhì)等離子發(fā)生器，使得通入的工藝氣體產(chǎn)生等離子體，并確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度，高能量的離子。等離子體與材料發(fā)生復(fù)雜的物理，化學(xué)反應(yīng)，可以實(shí)現(xiàn)不同的工藝功能，比如清洗，活化，刻蝕與涂敷等。等離子態(tài)顯著的特點(diǎn)是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的色彩可見光。
NE-PE60F 系統(tǒng)功能特點(diǎn)：
耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置
不銹鋼托盤設(shè)計(jì)，可調(diào)節(jié)托盤間距
8K鏡面不銹鋼腔體， 密封性
13.56射頻等離子發(fā)生器，產(chǎn)生高密度等高子體，確保出眾的清洗效果；
直觀的觸摸屏，過程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控。
方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過程中使用的要求
支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
通過聯(lián)鎖門或可移動(dòng)的板
高精度氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣），雙路氣流控制，比例
可調(diào)，采用高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(MFC)
二、設(shè)備參數(shù)
|
序號(hào) |
品名 |
配置參數(shù) |
|
1 |
設(shè)備外形尺寸 |
W903×D963×H1700（mm） |
|
2 |
腔體尺寸 |
W400×D450×H370(mm)；316不銹鋼材質(zhì) |
|
3 |
腔體容量 |
66升 |
|
4 |
電極板數(shù)量 |
7個(gè)；(可根據(jù)客戶要求增減層數(shù)) |
|
5 |
有效面積+層數(shù) |
L370mm x W370mm / 共6層 |
|
6 |
電極固定方式 |
插拔可拆卸 |
|
7 |
等離子發(fā)生器 |
13.56MHz/500W連續(xù)調(diào)節(jié) 自動(dòng)阻抗匹配,可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作。 |
|
8 |
氣體流量控制 |
(0～300)ml/min （標(biāo)況下） MFC質(zhì)量流量控制 |
|
9 |
反應(yīng)氣體 |
2路，（氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體） |
|
10 |
工藝氣體供氣管路 |
Φ6不銹鋼鋼管+軟管 |
|
11 |
腔體溫度 |
常溫 |
|
12 |
工作真空度 |
30～150Pa |
|
13 |
真空機(jī)組 |
無油干泵 |
|
14 |
真空測(cè)定系統(tǒng) |
英�？� 皮拉尼真空硅 測(cè)量范圍：1.0×105 ～1×10-1 Pa |
|
15 |
真空排氣系統(tǒng) |
油霧過濾器 |
|
16 |
破真空系統(tǒng) |
電磁閥+單向閥+消音器 |
|
17 |
抽真空時(shí)間 |
60s以內(nèi) |
|
18 |
破真空時(shí)間 |
≤15s |
|
19 |
輸入氣壓檢測(cè)系統(tǒng) |
2路氣壓自動(dòng)報(bào)警 |
|
20 |
壓縮空氣要求 |
0.6~0.8MPa |
|
21 |
控制系統(tǒng) |
7寸人機(jī)交互系統(tǒng) |
|
22 |
設(shè)備工作節(jié)拍 |
單次清洗時(shí)間≤8min（清洗時(shí)間 6min，具體以實(shí)際清洗時(shí)間為準(zhǔn)） |
|
23 |
電源 |
AC380V,50/60Hz，三相五線100A |
|
24 |
整機(jī)功率 |
4KW |
|
25 |
設(shè)備重量（設(shè)備主機(jī)/真空泵） |
500KG |
