一、設(shè)備簡介
NE-PE05是一款小型真空等離子處理系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。設(shè)備采用進(jìn)口品牌高性能旋片真空泵快速產(chǎn)生一個小于1-2 Pa的真空壓強，同時根據(jù)客戶工藝要求，對真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體，采用進(jìn)口高品質(zhì)等離子發(fā)生器，使得通入的工藝氣體產(chǎn)生等離子體，并確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度，高能量的離子。等離子體與材料發(fā)生復(fù)雜的物理，化學(xué)反應(yīng)，可以實現(xiàn)不同的工藝功能，比如清洗，活化，刻蝕與涂敷等。等離子態(tài)顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的色彩可見光。
NE-PE05 系統(tǒng)功能特點：
•耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置
•不銹鋼托盤設(shè)計，可調(diào)節(jié)托盤間距
•8K鏡面不銹鋼腔體，卓越密封性
·數(shù)字高頻等離子發(fā)生器，產(chǎn)生高密度等高子體，確保出眾的清洗效果；
•直觀的觸摸屏，過程參數(shù)實時監(jiān)控。
•方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗證過程中使用的要求
•支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
•通過聯(lián)鎖門或可移動的板
•兩個標(biāo)準(zhǔn)的浮子針閥流量控制器
設(shè)備參數(shù)
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序號 |
項目 |
型號規(guī)格 |
參數(shù) |
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1 |
等離子體發(fā)生器 |
功率 |
0-300W可調(diào) |
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抗輻射干擾高頻匹配器 |
自動阻抗匹配 |
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頻率 |
40 KHz |
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2 |
真空反應(yīng)腔室 |
腔體材質(zhì) |
進(jìn)口 316 不銹鋼，軍工級密封 |
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腔體容積 |
5L |
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電極數(shù)量 |
1 個鍍金鋁合金專用電極+1 個不銹鋼托盤（選配玻璃托盤） |
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腔體直徑（圓形） |
Φ150×280（D）mm |
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有效處理范圍 |
130（W）*245(D)mm |
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絕緣陶瓷 |
進(jìn)口高頻陶瓷 |
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3 |
氣路控制 |
氣體流量控制器 |
浮子針閥流量控制器， 0-1000ML |
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氣路數(shù)量 |
最小2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣，四氟化碳等 |
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4 |
真空測量 |
真空計 |
SMC 真空計 |
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5 |
抽氣系統(tǒng) |
真空泵 |
飛越 8m³/H |
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極限真空度 |
0.1PA |
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真空管路 |
不銹鋼管路+氣動閥門 |
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6 |
控制系統(tǒng) |
觸摸屏 |
4.3寸 |
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PLC |
松下PLC模塊 |
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軟件程序 |
自主專利設(shè)計等離子控制系統(tǒng) |
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7 |
場務(wù)條件 |
電源供應(yīng) |
220V |
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氣管接口 |
直徑8mm |
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氣體純度 |
99.99% |
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氣體壓力 |
0.3-0.6Mpa |
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排氣口 |
KF25 |
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8 |
整機參數(shù) |
整機功率 |
1000W |
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外形尺寸 |
600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) |
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重量 |
30kg |
