NE-PE02是一款小型真空等離子處理系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。設(shè)備采用進(jìn)口品牌高性能旋片真空泵快速產(chǎn)生一個(gè)小于1-2 Pa的真空壓強(qiáng)，同時(shí)根據(jù)客戶工藝要求，對(duì)真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體，采用進(jìn)口高品質(zhì)等離子發(fā)生器，使得通入的工藝氣體產(chǎn)生等離子體，并確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度，高能量的離子。等離子體與材料發(fā)生復(fù)雜的物理，化學(xué)反應(yīng)，可以實(shí)現(xiàn)不同的工藝功能，比如清洗，活化，刻蝕與涂敷等。等離子態(tài)顯著的特點(diǎn)是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的色彩可見光。
NE-PE02 系統(tǒng)功能特點(diǎn)：
•耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置
•不銹鋼托盤設(shè)計(jì)，可調(diào)節(jié)托盤間距
•8K鏡面不銹鋼腔體，卓越密封性
•數(shù)字高頻等離子發(fā)生器，產(chǎn)生高密度等高子體，確保出眾的清洗效果
•直觀的觸摸屏，過程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控
•方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過程中使用的要求
•支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
•通過聯(lián)鎖門或可移動(dòng)的板
•兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的浮子針閥流量控制器
|
序號(hào) |
項(xiàng)目 |
型號(hào)規(guī)格 |
參數(shù) |
|
1 |
等離子體發(fā)生器 |
功率 |
0-300W可調(diào) |
|
抗輻射干擾高頻匹配器 |
自動(dòng)阻抗匹配 |
||
|
頻率 |
40 KHz |
||
|
2 |
真空反應(yīng)腔室 |
腔體材質(zhì) |
進(jìn)口 316 不銹鋼，軍工級(jí)密封 |
|
腔體容積 |
2L |
||
|
電極數(shù)量 |
1 個(gè)鍍金鋁合金專用電極 + 1個(gè)不銹鋼托盤 |
||
|
腔體直徑（圓形） |
100（W）×270（D）mm |
||
|
有效處理范圍 |
80（W）*235(D)mm |
||
|
絕緣陶瓷 |
進(jìn)口高頻陶瓷 |
||
|
3 |
氣路控制 |
氣體流量控制器 |
浮子針閥流量控制器， 0-500ML |
|
氣路數(shù)量 |
最小2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮?dú)�，氨氣，氫氣，四氟化碳�?/p> |
||
|
4 |
真空測量 |
真空計(jì) |
SMC 真空計(jì) |
|
5 |
抽氣系統(tǒng) |
真空泵 |
飛越 8 m³/H |
|
極限真空度 |
0.1PA |
||
|
真空管路 |
不銹鋼管路+氣動(dòng)閥門 |
||
|
6 |
控制系統(tǒng) |
觸摸屏 |
4.3寸 |
|
PLC |
松下PLC模塊 |
||
|
軟件程序 |
自主專利設(shè)計(jì)等離子控制系統(tǒng) |
||
|
7 |
場務(wù)條件 |
電源供應(yīng) |
220V |
|
氣管接口 |
直徑8mm |
||
|
氣體純度 |
99.99% |
||
|
氣體壓力 |
0.3-0.6Mpa |
||
|
排氣口 |
KF25 |
||
|
8 |
整機(jī)參數(shù) |
整機(jī)功率 |
1000W |
|
外形尺寸 |
590mm(L)×450mm(W) ×465 mm(H) |
||
|
重量 |
40kg |
