NE-Q05是一款石英真空等離子處理系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。小型石英等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)主要包括控制單元、石英真空腔體、真空泵三部分。等離子清洗機(jī)的工作流程為：腔體抽真空—充入工藝氣體—電離工藝氣體并清洗—去除工件。清洗首先在真空腔體內(nèi)單種或者多種清洗所需氣體，一般為Ar、O2、N2等，外加射頻功率在平行電極之間形成交變電場，電子通過電場加速對工藝氣體進(jìn)行沖擊使氣體發(fā)生電離形成離子，作用在被清洗表面，電離產(chǎn)生的粒子與電子數(shù)量達(dá)到一定規(guī)模，便形成了等離子體。等離子體高速撞擊材料表面，與被清洗表面污染物發(fā)生理化反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)材料的清洗，并利用氣流將污染物排出腔體。通過等離子清洗可以有效清除被清洗表面污染物、改善表面狀態(tài)、增加材料的粘附性能、提高材料表面的浸潤性能。

NE-Q05 系統(tǒng)功能特點(diǎn)：

•真空腔體材質(zhì)采用石英玻璃，不易與材料表面發(fā)生反應(yīng)，污染清洗樣品

•等離子發(fā)生器采用13.56MHz射頻發(fā)生器，自動(dòng)阻抗匹配調(diào)諧
•觸摸屏用戶界面+PLC控制，可儲存多條工藝程序，全自動(dòng)運(yùn)行
•配備兩路氣路通道，氣體流量可調(diào)，無需再搭配氣體混合儀

•整體外觀處理工藝、機(jī)架門板烤漆、耐用、防刮

•鋁合金自動(dòng)門：氧化處理、噴砂、光潔高檔

•電路設(shè)計(jì)電流過載保護(hù)，模塊式電路、維修方便快捷

•手動(dòng)、自動(dòng)、真空保壓均可操作，不倒翁橡膠腳杯，自動(dòng)平衡機(jī)器、減震