單通道熱式氣體質量流量控制顯示儀：在一般情況下，質量流量控制器和質量流量計的單位都是以sccm（毫升/分鐘）和slm（升/分鐘）表示；s代表stand，指標準狀況下；cc指毫升；l指升，m代表minute，指分鐘。其實這就意味著，流量控制器在不同的使用條件下，指示的流量全都是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg)； 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm、slm不同于mL/min、L/min 的地方。
