單通道熱式氣體質(zhì)量流量控制顯示儀:在一般情況下,質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)的單位都是以sccm(毫升/分鐘)和slm(升/分鐘)表示;s代表stand,指標(biāo)準(zhǔn)狀況下;cc指毫升;l指升,m代表minute,指分鐘。其實(shí)這就意味著,流量控制器在不同的使用條件下,指示的流量全都是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別,也是sccm、slm不同于mL/min、L/min 的地方。