所謂等離子體是繼固體、氣體、液體三態(tài)后，列為物質(zhì)的第四態(tài)，由于離子、負離子、電子和中性離子組成，因體系中正負電荷總數(shù)相等，故稱為“等離子體”。非平衡態(tài)等離子體電子溫度可上萬度，離子及中性離子可低至室溫，即體系表現(xiàn)溫度仍很低，故稱“低溫等離子體”，一般由氣體放電產(chǎn)生。氣體放電有多種形式，其中工業(yè)上使用的主要是電暈放電（在去除廢氣中的油塵上應用已相當成熟）和介質(zhì)阻擋放電（用于廢氣中難降解物質(zhì)的去除）兩種。
在本機組前置處理單元中，采用了電暈放電及輝光、電子流放電為主的方式，在降低氣體流速的前提下，通過初步的降解、極性分離和氣流整理，進行預處理。實際上，在本機組中我們使用的低溫等離子體主要采用的放電形式為雙介質(zhì)阻擋放電（Dielectric Barrier Discharge,簡稱DBD）。
