1.空氣質(zhì)量檢測：方法：細菌學(xué)檢查、除塵檢查、空氣濕度檢查、溫度檢查等，用于評價潔凈室內(nèi)空氣污染程度，以保證潔凈室內(nèi)空氣質(zhì)量。

2.表面潔凈度檢測：一般采用靜電噴槍、除塵及膠帶等，可以評價潔凈室內(nèi)表面清潔度，以達到該潔凈度的要求。

3.基本工藝參數(shù)檢測：通常采用空氣流速、溫度、濕度等測量，以保證潔凈室工藝參數(shù)穩(wěn)定，以符合潔凈室要求。

4.電氣安全檢測：通常采用電磁輻射檢測儀/儀器、電流檢查、絕緣檢查等技術(shù)，以確保潔凈室電氣安全。

5.其他：還可對潔凈室內(nèi)部其他設(shè)備、管道流水健康度、現(xiàn)場地面清潔度等進行檢測，為保障潔凈室運行提供質(zhì)量保證。