四氟化碳，又名四氟甲烷，化學(xué)式為CF4，它既可以被視為一種鹵代烴（有機(jī)物），也可以被視為一種無機(jī)化合物，常溫常壓下為無色氣體，不溶于水，溶于苯和氯仿，主要用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體、低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。