動態(tài)高精度配氣設(shè)備是一款采用先進的數(shù)字技術(shù)產(chǎn)品，在傳感器的驅(qū)動下，氣體流量的控制和濃度。不需要對設(shè)備進行日常保養(yǎng)，只需要偶爾清洗及再標定就可以了。如果通入設(shè)備的氣體是超潔凈以及無腐蝕性氣體，可以使用幾年后進行清洗標定；如果通入設(shè)備是低潔凈度或腐蝕性氣體，每次使用完畢后用干燥的氮氣進行吹掃，在1年后進行清洗及再標定即可。