毛細管測厚儀,屬于小光斑產(chǎn)品方案的測量,普通膜厚儀機型,通常是測0.2/0.3mm大小,在80-7.5um的,都屬于毛細管范圍。毛細管除了測小光斑產(chǎn)品有優(yōu)勢,它的精度和測量時間,也比普通機型勝出一籌,Zing密度將由10%變到3%,時間由30秒變到1-3秒即可測量完畢,當然,毛細管機型的價格,也是貴出普通機型許多。
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