三坐標檢測是檢驗工件的一種精密測量方法。廣泛應用于機械制造業(yè)，汽車工業(yè)等現(xiàn)代工業(yè)中。三坐標檢測就是運用三坐標測量機對工件進行形位公差的檢驗和測量。判斷該工件的誤差是不是在公差范圍之內。也叫三坐標測量。
Mars系列中圖儀器三坐標測量機是移動橋式的三坐標測量機。支持觸發(fā)、掃描和非接觸式探測系統(tǒng)。能夠對各種零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關系進行檢測，也可以對軟材質或復雜零件進行光學掃描測量。并且支持測頭更換架以及影像相機，同時支持精密轉臺等。支持各種測量軟件，包括Rational DMIS、中圖SMT-DMIS、 ARCOCAD等，支持中圖控制器和Pantec控制器。
測量原理
三坐標檢測設備是通過將被測物體置于三坐標測量機的測量空間，利用接觸或非接觸探測系統(tǒng)精確的測出被測零件表面的點在空間三個坐標位置的數(shù)值，然后這些點的空間坐標值，擬合形成測量元素，如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等，由軟件進行數(shù)學運算，求出待測的幾何尺寸和形狀、位置。
主要特點
1、三軸均采用低熱膨脹系數(shù)的花崗巖導軌，機器具有良好的溫度適應性，抗時效變形能力。
2、環(huán)抱式的氣浮布局，使機器保持長時間的穩(wěn)定運行，并且具有高的運行精度。
3、關鍵部件一體鑄造成型，結構緊湊，重量輕，強度高，運行更為快速平穩(wěn)、測量精度更高。
4、低摩擦阻力的氣缸，Z軸在運動過程中具有低摩擦阻力，提高Z軸運動的精度。
5、Mars系列中圖儀器三坐標測量機采用海德漢光柵尺，確保機器在使用過程中具有高精度和長時間的穩(wěn)定性。
6、高剛性傳動，保證了機器傳動的剛性和平穩(wěn)性，提高了機器的運動精度。
7、固定式的工作臺，使機器具有承載能力強、裝卸空間寬闊、便捷。
8、氣壓檢測安全裝置，保證Z軸不會因為斷氣而下墜，保證了測頭測座的安全。
測頭部分
1.Pantec 測座
Pantec eagle head M7.5M8全自動旋轉測座，可實現(xiàn)測頭在A 軸和B 軸以7.5 度為增量移動，該測座具有720個可重復定位空間位置，可配置長達300mm 加長桿，具有高重復性以及機械式自動連接功能。
2.Pantec測頭
Pantec eagle mp touch SF是5方向或6方向操作的觸發(fā)式測頭。由測頭本體和可分離測頭吸盤組成，可以手動或自動改變測針的配置而不需要重新定位測針，在檢測時，可節(jié)省很多時間。
