CPSM射頻電源匹配器維修RF射頻電源發(fā)生器維修
AE電源維修RF射頻電源CESAR1310電源匹配器維修
應(yīng)用范圍:主要服務(wù)于太陽能光伏、PVD鍍膜,半導(dǎo)體薄膜、離子注入、刻蝕,平板顯示,光盤、光電子LED等制造工藝以及科研院校、研究所等設(shè)備的高壓、直流、射頻電源。主要包括高壓電源HV PSU、射頻電源RFG、匹配網(wǎng)絡(luò)RF Match、直流電源DC POWER、微波發(fā)生器等,提供設(shè)備維護(hù)維修保養(yǎng)整包、批量產(chǎn)品維修。
RF MATCH射頻匹配器維修范圍有ADVANCED射頻電源匹配器;ASTEX射頻電源匹配器;NP射頻電源匹配器;ASTECH射頻電源匹配器;SEREN射頻電源匹配器;射頻電源匹配器;KYOSAN射頻電源匹配器;ENI射頻電源匹配器;DAIHEN射頻電源匹配器;射頻電源匹配器;TRAZAR射頻電源匹配器維修等
主營業(yè)務(wù):提供維修服務(wù)
一、維修真空濺射鍍膜設(shè)備、等離子清洗設(shè)備、真空貼合機(jī)、設(shè)備上的電控部件:射頻電源、射頻器、靶材電源、高壓電源、微波電源、磁控濺射電源、中頻電源、高頻電源、遠(yuǎn)程等離子體源、霍爾離子源、脈沖電源、直流電源、氧化源電源、特種電源、匹配器、膜厚儀等。
二、維修儀器設(shè)備:試驗機(jī)、檢測儀、分析儀、光度計、鐳射切割機(jī)、激光器等。
射頻電源設(shè)備主要服務(wù)于太陽能光伏、PVD鍍膜,半導(dǎo)體薄膜、離子注入、刻蝕,平板顯示,光盤、光電子LED等制造工藝以及科研院校、研究所等設(shè)備的高壓、直流、射頻電源。主要包括高壓電源HV PSU、射頻電源RFG、匹配網(wǎng)絡(luò)RF Match、直流電源DC POWER、微波發(fā)生器等,提供設(shè)備維修服務(wù)。