好處

快速分析 Ultra DI的采樣量大，能夠快速獲取有效統(tǒng)計數(shù)據(jù) 儀器可以快速清洗，便于在采樣點之間快速移動，節(jié)省操作人員的時間 采樣時間間隔較短，縮短粒子分析時間 改善制程 采樣體積大，零點計數(shù)值超低，可獲取更多的有效統(tǒng)計數(shù)據(jù)，監(jiān)測更微量的粒子漂移 實時監(jiān)測粒子污染，對其作出迅速反應 Facility Net軟件具有更先進的制程控制功能：文數(shù)傳呼、傳感器狀態(tài)顯示、制表和SPC圖、時間圖、歷史數(shù)據(jù)記錄等 更小的樣本間誤差，適用于更嚴格的制程 控制監(jiān)測靈敏度達到0.05µm，能更迅速地監(jiān)測制程變化 容易使用 可使用現(xiàn)有的以太網通訊網絡 通過4-20mA直接連接PLC和SCADA系統(tǒng) 可用于監(jiān)測臭氧水 不銹鋼外殼，雙HEPA過濾，可用于很臟的環(huán)境

應用

量化先進的超純水（UPW）系統(tǒng)中的粒子濃度 檢測過濾器效率 分析低濃度粒子趨勢 監(jiān)測UPW系統(tǒng)中的細菌增長 粒子事件追蹤和報警 制程控制 連續(xù)系統(tǒng)監(jiān)測