產(chǎn)品簡(jiǎn)介：為電力電子器件及LED用碳化硅晶片的CMP化學(xué)機(jī)械平坦化配制的拋光液。CMP拋光液大大提高了碳化硅晶圓表面去除率和平坦化性能，提供了非常好的表面光潔度
吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液使用方法：
1.可根據(jù)拋光操作條件用去離子水進(jìn)行5-20倍稀釋。
2.稀釋后，粗拋時(shí)調(diào)節(jié)PH11左右，精拋時(shí)調(diào)節(jié)PH9.5左右。pH調(diào)節(jié)可以用10%的鹽酸、醋酸、檸檬酸、KOH或氨水在充分?jǐn)嚢柘侣尤搿?/span>
3.循環(huán)拋光可以用原液。
吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液儲(chǔ)存方法：
1.貯存時(shí)應(yīng)避免曝曬，貯存溫度為5-35℃
2.低于0℃以上儲(chǔ)存，防止結(jié)冰，在無度以下因產(chǎn)生不可再分散結(jié)塊而失效。
3.避免敞口長(zhǎng)期與空氣接觸。
吉致電子碳化硅晶圓Slurry拋光液價(jià)格：
吉致電子的碳化硅晶圓拋光液生產(chǎn)技術(shù)是引進(jìn)國(guó)外生產(chǎn)技術(shù)和設(shè)備，特殊化學(xué)配方制備而成。吉致電子拋光液品質(zhì)可以媲美進(jìn)口同類產(chǎn)品。
本土化生產(chǎn)使得吉致電子CMP拋光液產(chǎn)品交貨周期快，品質(zhì)好，拋光液價(jià)格親民。
