三坐標測量機一般由以下幾個部分組成：

1、主機機械系統(tǒng)（X、Y、Z三軸或其它）；

2、 測頭系統(tǒng)；

3、 電氣控制硬件系統(tǒng)；

4、 數(shù)據(jù)處理軟件系統(tǒng)（測量軟件）；

三坐標測量儀簡稱CMM，自六十年代中期第一臺三坐標測量儀問世以來，隨著計算機技術的進步以及電子控制系統(tǒng)、檢測技術的發(fā)展，為測量機向高精度、高速度方向發(fā)展提供了強有力的技術支持。