Agilent 4155B是新一代精密半導體器件參數(shù)分析儀。它擁有*佳的數(shù)字掃描參數(shù)分析儀,可靠的測試儀,強有力的故障,分析工具,自動檢查設施;幸免綜合至同參儀器中。
新產品的設計目標清楚地瞄準為亞微米幾何尺寸器件評估提供前所未見的精度和功能。它是一種可靈活使用的儀器,無疑對從材料評價至器件性牟的表征,
乃至后封裝等各個階段的部分檢查和現(xiàn)場故障分析可提供諸多應用,以改進半導體器件的質量。
正確方案的抉擇
Agilent 4155B設有四個內置源/監(jiān)測單元(SMU),兩個電壓單元(VSU),兩個電壓監(jiān)測單元(VMU),對于具有非開氏連接的基本半導體連接,4155B可謂是*佳選擇,分辨為10fA/1μV測量范圍為100mA/100V。
任何時候,均可增添41501B SMU和脈沖發(fā)生器擴展器。它由0V/1.6A接地單元饋送可擴展接收兩100mA/100V SMU或一個1A/200V SMU和兩上同步40V/1μs脈沖發(fā)生器。
設定和測量
Agilent 4155B可使用許多測量單元,包括Agilent 41501B做階梯,脈沖掃描測量,采樣(時域)測量,而無需變動連接。進而,對于可靠性評估還可做應力循環(huán)測量,例如熱載流子的注入和快速EEPROM測評。
可通過前面板鍵,鍵盤,或GPIB(SCPI命令)多種途徑通過設置頁面和添入空格進行設定和測量,還可通過鈕掃描功能進行短暫測量和查尋設定一類似于曲線描圖儀。
顯示和分析測量和分析結果顯示在彩色的LCD上,可由4個圖形存貯器做存貯器做存貯,以便分析。比較。強有力的分析手段,使得很容易對諸如hFE,Vth等多種參數(shù)進行抽取。
一旦查得參數(shù)抽取條件,則可通過-自動分析功能自動地取得。