三菱樹脂應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)  出水超純水選用離子交換樹脂

在半導(dǎo)體工業(yè)，洗凈用之超純水對制品品質(zhì)及產(chǎn)率有很大影響，表示各類相關(guān)制造工程之超純水水質(zhì)要求列。

超純水制造上之離子交換樹脂：超純水設(shè)備，除了凝集沉澱等前處理離子交換樹脂外，還包含RO膜、超過濾、UV殺菌設(shè)備等單元，依原水水質(zhì)與處理水要求來組合。超純水設(shè)備流程分為一次純水系與二次純水系，后者又稱為sub-system。

一次純水系：有使用軟化樹脂RO或2B3T+MBP者，因離子交換樹脂對有機(jī)物與膠體之吸附力不高，若只是要得高阻值純水，則僅使用離子交換樹脂即可，否者需在經(jīng)過RO裝置較適宜，但RO之濃縮排水較多。

離子交換樹脂能出去水中電解質(zhì)，比抵抗可以近似理論純水，但其高分子材質(zhì)，自身會(huì)溶出微量不純物，因此需要高洗凈度之精制樹脂。又為了讓樹脂能於年度維修短短數(shù)日內(nèi)快速水洗上線，可采用lowTMA之陰樹脂，要注意的是，RO裝置前加入之殺菌劑NaCIO在進(jìn)入樹脂前需要用NaHSO3除去，而且此系中使用重復(fù)再生型MB，需要注意再生后之離子泄漏值。

DIAION SK1BL

DIAION UBA100MB

DIAION KAM115U

DIAION USMT100

DIAION SMT100L