化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是晶圓制造的關(guān)鍵步驟,其作用在于減少晶圓表面的不平整,而拋光液墊是CMP技術(shù)的關(guān)鍵耗材,價(jià)值量較高,占CMP耗材49%價(jià)值量,其品質(zhì)直接影響著拋光效果,因而對(duì)提高晶圓制造質(zhì)量至關(guān)重要。在這過程中PFA的作用就體現(xiàn)出來了,PFA容量瓶定容精準(zhǔn),本底純凈可用來配置拋光液清洗液。
那么PFA容量瓶到底有哪些特性,為什么要用PFA容量瓶呢?
PFA容量瓶半透明透明可視度高,不添加回料本底值低,耐受強(qiáng)酸堿,金屬元素鉛、鈾含量小于0.01ppb,無溶出與析出,是目前潔凈的實(shí)驗(yàn)分析器皿,所以常用于半導(dǎo)體、多晶硅、光伏電子 鋰電等行業(yè)。
常用規(guī)格:10ml 25ml 50ml 100ml 250ml 500ml 1000ml