CGO-高低溫真空探針臺(tái)
溫度范圍77K-675K(液氮)；
可應(yīng)用于真空及常規(guī)環(huán)境；
超高溫度分辨率；
特殊客制低溫系統(tǒng)；
具有極高穩(wěn)定性
特點(diǎn)/應(yīng)用
2至6英寸樣品臺(tái)
高真空腔體
防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性更好
77K-675K高低溫環(huán)境
兼容IV/CV/RF測(cè)試
外置多探針臂，移動(dòng)行程大
經(jīng)濟(jì)實(shí)用，可無縫升級(jí)
高低溫真空探針臺(tái)
極低溫測(cè)試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測(cè)試：
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。
腔體規(guī)格
型號(hào)：CGO-2/CGO-4/CGO-6
樣品臺(tái)尺寸：2英寸/4英寸/6英寸
樣品固定：彈簧壓片
觀察窗口：2英寸/4英寸/6英寸
真空度：10-6torr
探針臂接口：4~6個(gè)探針臂接口
其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口
制冷方式：液氮/液氦/制冷機(jī)
溫度范圍：77K到573K/4.5K到573K
溫控精度：0.1K/0.01K/0.001K
穩(wěn)定性：±1K/±0.1K/±0.01K
外形：880mm長(zhǎng)*880mm寬*600mm高/980mm長(zhǎng)*980mm寬*600mm高
重量：約100千克/120千克
光學(xué)系統(tǒng)：
顯微鏡類型：?jiǎn)瓮诧@微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率：16X-200X/20X-4000X
移動(dòng)行程：水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm
光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素
探針臂
X-Y-Z移動(dòng)行程：50mm*50mm*50mm
結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)
移動(dòng)精度：10微米/1微米
線纜：同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度：10pA/100fA/10fA
固定探針：彈簧固定/管狀固定
接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
頻率支持：DC-67GHZ
針尖直徑：0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
其他組件
真空組件：分子泵組/機(jī)械泵/離子泵
冷源組件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī)
可選附件
超高溫配件、顯示器、轉(zhuǎn)接頭、射頻測(cè)試配件、屏蔽箱、光學(xué)平臺(tái)、鍍金卡盤、光電測(cè)試配件、高壓測(cè)試配件、分子泵組、激光系統(tǒng)、氣敏測(cè)試配件。
