臺體規(guī)格：

尺寸：4英寸/6英寸

水平旋轉：可360度旋轉，可微調15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程：2英寸*3英寸

X-Y移動精度：10微米

樣品臺Z軸調節(jié)：可升降10mm

樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺：左右各一個針座平臺，最多可放置6個探針座

背電極測試：樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極

外形尺寸：400mm長*380mm寬*500mm高

重量：約20千克

光學系統(tǒng)：

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡

放大倍率：16X-200X

移動行程：水平方向繞立柱360度旋轉，Z軸50.8mm

光源：外置LED無極調節(jié)亮度環(huán)形光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器：X-Y-Z移動行程：12mm*12mm*12mm

吸附方式：磁力吸附/真空吸附

線纜：同軸線/三軸線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

針尖材質：鎢鋼/鈹銅

可選附件

加熱臺、顯示器、轉接頭、射頻測試配件、屏蔽箱、光學平臺、鍍金卡盤、光電測試配件