CS-4小型探針臺
CS系列探針臺至多可用于6英寸以內(nèi)樣品測試 ;
可滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等。
特點/應用
滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等
可用于6英寸以內(nèi)樣品測試
同軸絲杠傳動結構,線性移動
可放置于手套箱內(nèi)使用
形狀輕巧,操作方便,價格實惠
探針臺-臺體規(guī)格
尺寸:4英寸/6英寸
水平旋轉:可360度旋轉,可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程:4英寸*4英寸
X-Y移動精度:10微米
樣品臺Z軸調(diào)節(jié):可升降10mm
樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)
針座平臺:U型針座平臺,最多可放置6個探針座
背電極測試:樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極
外形尺寸:400mm長*400mm寬*500mm高
重量:約25千克
光學系統(tǒng)
顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡
放大倍率:16X-200X
移動行程:水平方向繞立柱360度旋轉,Z軸50.8mm
光源:外置LED無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源
CCD:200萬像素/500萬像素/1200萬像素
探針座
X-Y-Z移動行程:12mm*12mm*12mm
移動精度:10um/2um/0.7um/0.5um
吸附方式:磁力吸附/真空吸附
線纜:同軸線/三軸線
漏電精度:10pA/100fA/10fA
固定探針:彈簧固定/管狀固定
接頭類型:BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑:0.2um/1um/2um/5um/10um/20um
針尖材質(zhì):鎢鋼/鈹銅
可選附件
加熱臺、顯示器、轉接頭、射頻測試配件、屏蔽箱、光學平臺、鍍金卡盤、光電測試配件
可接受定制