氣液分離器可減少化學(xué)藥劑輸送以及晶片加工系統(tǒng)中的氣泡。它們具有4英寸的內(nèi)徑,在氣液分離過程中提供更大的表面積。 它們可用于各種可連接的管道長度。它們具有可配置的接口連接方式和榫槽密封。 可安裝液位傳感器。
特點和優(yōu)點
過程安全的PTFE和PFA液體通路
化學(xué)藥劑輸送以及晶片加工系統(tǒng)中的氣液分離榫和槽型密封件 技術(shù)是和可重復(fù)使用的帶螺紋連接的擠壓式PFA管提供簡單的安裝和維護并且無需焊接
耐高壓的能力為更快的工藝提供大流量可達(dá)6升的型號氣液分離器可改變上升的流量減緩流體的流速,使得氣泡在腔體內(nèi)上升。 當(dāng)空氣聚集在頂部時,液位下降直到下液位傳感器檢測到低液位信號并給排氣閥發(fā)出打開信號,通過排氣口釋放空氣。隨著空氣排出,液面上升,直到上液位傳感器檢測到高液位信號,并指示閥門關(guān)閉