有防微振要求的潔凈廠房建筑物結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)根據(jù)建筑物內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝布置及其對防微振有嚴(yán)格要求的部位、設(shè)備的設(shè)置狀況和輔助設(shè)施—公用動力設(shè)施的布置以及振動或隔振措施狀況等，并應(yīng)密切配合做建筑結(jié)構(gòu)防微振設(shè)計(jì)。建筑結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計(jì)應(yīng)依據(jù)不同行業(yè)、不同工序或不同設(shè)備的要求，按設(shè)計(jì)流程進(jìn)行，建筑結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計(jì)內(nèi)容有建筑物地基基礎(chǔ)、地面結(jié)構(gòu)或底板結(jié)構(gòu)和主體結(jié)構(gòu)等的防微振設(shè)計(jì)。在國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)防微振工程技術(shù)規(guī)范》中對有微振控制要求的建筑物地基基礎(chǔ)、地面結(jié)構(gòu)、主體結(jié)構(gòu)以及精密設(shè)備儀器的獨(dú)立基礎(chǔ)等的防微振措施作出了較詳細(xì)的規(guī)定:有防微振要求的潔凈廠房等建筑物內(nèi)的設(shè)備布置時(shí)應(yīng)做到，精密設(shè)備及儀器與動力設(shè)備的布置較靠近時(shí)，應(yīng)對動力設(shè)備采取隔振措施;當(dāng)樓層布置精密設(shè)備或儀器時(shí)，動力設(shè)備應(yīng)布置在底層或樓層邊跨，并應(yīng)在樓層與精密設(shè)備或儀器所在區(qū)域隔離;通常不應(yīng)將精密設(shè)備及儀器布置在受電梯振動影響的范圍內(nèi);當(dāng)樓層布置精密設(shè)備及儀器時(shí)，其位置宜位于梁、墻、柱等結(jié)構(gòu)剛度較大的部位或附近。當(dāng)建筑物為多層廠房時(shí)不宜設(shè)置起重設(shè)備，若必須設(shè)置起重設(shè)備時(shí)，宜采用懸臂式起重設(shè)備或其他振動影響較小的運(yùn)輸工具。設(shè)置在有防微振要求的建筑物內(nèi)的動力設(shè)備及產(chǎn)生振動的管道進(jìn)入防微振區(qū)域時(shí)，應(yīng)采取隔振措施。

     潔凈廠房建筑物的防微振結(jié)構(gòu)形式多樣，通常應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求和建筑物的建筑結(jié)構(gòu)等確定。對建筑物地基基礎(chǔ)的防微振設(shè)計(jì)主要要求:抗震設(shè)防烈度為7度、8度的地區(qū)，建筑物基礎(chǔ)持力層范圍內(nèi)存在承載力特征值分別小于80kPa、100kPa的軟弱黏土層時(shí)，應(yīng)采用樁基或人工處理復(fù)合地基。采用復(fù)合地基時(shí)，應(yīng)按國家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《建筑地基基礎(chǔ)設(shè)計(jì)規(guī)范》和《建筑地基處理技術(shù)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定進(jìn)行載荷試驗(yàn)和地基變形驗(yàn)算;防微振廠房同一結(jié)構(gòu)單元的基礎(chǔ)不宜埋置在不同類別的地基土上。這里所指的軟弱黏土層主要是淤泥、淤泥土、沖填土、雜填土或其他高壓縮土層，這類土層支承載力低、壓縮性大，基礎(chǔ)沉降量大，容易產(chǎn)生不均勻沉降，使地坪、樓面、墻體等產(chǎn)生裂縫。精密設(shè)備、儀器有較嚴(yán)格的防微振要求，一般應(yīng)選擇樁基穿透軟弱黏土層，若采用人工處理復(fù)合地基時(shí)，處理深度也應(yīng)穿透軟弱黏土層。地面結(jié)構(gòu)或底板結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計(jì)應(yīng)該滿足的要求是:集成電路制造廠房前工序、液晶顯示器制造廠房、納米科技建筑及實(shí)驗(yàn)室應(yīng)按防微振要求設(shè)置厚板式鋼筋混凝土地面。當(dāng)采用天然地基時(shí)，地面結(jié)構(gòu)的厚度不宜小于500mm，地基土應(yīng)夯壓密實(shí)，壓實(shí)系數(shù)不得小于0.95。當(dāng)采用樁基支承的結(jié)構(gòu)地面時(shí)，地面結(jié)構(gòu)的厚度不宜小于400mm，對于軟弱土地區(qū)，不宜小于500mm;對于欠固結(jié)土，宜采取防止樁間土與地面結(jié)構(gòu)底部脫開的措施;當(dāng)?shù)孛鏋槌�長混凝土結(jié)構(gòu)時(shí)，不宜設(shè)置伸縮縫,可采用超長混凝土結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計(jì)措施。地面或底板結(jié)構(gòu)采用厚板，提高了地面的整體剛度，工程實(shí)踐證明，這對于防微振是非常有效的。當(dāng)采用樁基支承的地面結(jié)構(gòu)時(shí)，由于地面與樁連成了一個(gè)整體，因此其厚度可以適當(dāng)減薄;對于欠固結(jié)土，宜在澆筑底板結(jié)構(gòu)前，將樁間夯壓密實(shí)。