廣州金程科學儀器公司供應的雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510，均勻性高的電極構造，操作簡單的觸摸屏控制器，適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機。
儀器特點：
DP模式（PDC510標配·PDC200/210選配）。
RIE模式。
均勻性高的電極構造。
操作簡單的觸摸屏控制器。
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型號 |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
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等離子模式 |
RIE（DP模式選配） |
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電極構造 |
平行平板（固定） |
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高頻輸出 |
Max300W |
Max500W |
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頻率 |
13.56MHz |
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反應腔尺寸 |
W400xD250Lx150mm |
W500xD300Lx200mm |
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電極尺寸 |
W250xD170mm |
W400xD200mm |
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反應室材質 |
2系統(tǒng)（Ar、O2） |
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填充氣體 |
N2或干燥空氣 |
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反應氣體流量控制 |
流量計 |
聚合控制器 |
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真空泵 |
另行選配 |
油泵（約345L/分）標配 |
油泵（500L/分）標配 |
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氣體導入口 |
反應氣體2個、填充氣體1個 |
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外形尺寸 |
W540xD600xH600mm |
W540xD600xH600mm |
W700xD700xH1285mm |
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重量 |
約100KG |
約105KG |
約180KG |
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電源 |
單相AC100V 10A |
三相AC200V 6A |
三相AC200V 8A |
雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供，如您想了解更多關于等離子清洗機的信息，歡迎來電咨詢。
