德國(guó)MUNK電源維修主要系列：ΡKA2，DCAC100，AS100，HS100，ESA2000， HSG2000，E230 G60/45；E230 G100，D400 G100全系列型號(hào)。

常見維修型號(hào)包括：D400 G100/75WRG-TFMYCT14；MUNK GmbH D400 G100/100 WRG-TFMYCT14；MUNK GmbH D400 G100/50 WRG-TFMYCT；E230 G60/45 WRG-TFMYCT24等。

對(duì)于單靶或者單弧源來說，可以進(jìn)行直流和單HiPIMS高能脈沖、直流和單脈沖以及單脈沖和單HiPIMS高能脈沖疊加，實(shí)現(xiàn)共濺射的功能。直流和單HiPIMS高能脈沖疊加。

對(duì)于雙靶來說，可以進(jìn)行更多種的疊加，比如雙脈沖和雙HiPIMS高能脈沖、單脈沖和雙HiPIMS高能脈沖(Bias偏壓同步)、雙HiPIMS高能脈沖/雙脈沖和單脈沖(Bias偏壓同步)、單HiPIMS高能脈沖/雙脈沖和單脈沖(Bias偏壓同步)、雙HiPIMS高能脈沖和RF(Bias偏壓同步)以及單HiPIMS高能脈沖和RF(Bias偏壓同步)疊加等。

激光電源維修常見故障情況診斷：

高壓打火,高壓線接頭處太靠近鐵殼部分。

無光,風(fēng)扇不轉(zhuǎn)。保險(xiǎn)絲斷。

可以強(qiáng)制發(fā)光,不能主板控制發(fā)光。前級(jí)低壓控制部分壞。