CMZ系列超高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是天準(zhǔn)生產(chǎn)的高端計(jì)量設(shè)備，采用固定橋式結(jié)構(gòu)形式，可滿足復(fù)雜零部件的超高精度檢測(cè)需求，具有亞微米精度、高效率及性能穩(wěn)定等特點(diǎn)，幫助實(shí)現(xiàn)精密加工、裝配和質(zhì)量控制。

自主研發(fā)的軟件、電控及探測(cè)系統(tǒng)，具有更好的適配性

自主研發(fā)的21項(xiàng)誤差補(bǔ)償算法，測(cè)量機(jī)可實(shí)現(xiàn)計(jì)量級(jí)精度

優(yōu)化設(shè)計(jì)的主體結(jié)構(gòu)和溫度場(chǎng)分布，具有更好的精度穩(wěn)定性和測(cè)量速度

④各軸采用預(yù)載空氣軸承，及環(huán)抱式布局，高剛性、無(wú)接觸、低摩擦

采用固定橋式的高剛性機(jī)械結(jié)構(gòu), 使用花崗巖橫梁、底座和立柱

采用零膨脹系數(shù)光柵尺，分辨率超高達(dá)到納米級(jí)別，且不受外界溫度影響，保證機(jī)器的高精度和穩(wěn)定性

創(chuàng)新性地將直線電機(jī)技術(shù)運(yùn)用到坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，更高的定位精度減少運(yùn)動(dòng)誤差，更高的速度與加速度提高測(cè)量效率

工業(yè)級(jí)精密材料碳化硅陶瓷Z軸的組合，保證了機(jī)械結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性且抗外界干擾能力強(qiáng)