小型真空探針臺 太陽能電池測試夾具
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真空腔體 |
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類型 |
高溫型室溫到350℃ |
高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
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腔體材質 |
304不銹鋼 6061鋁合金 可選 |
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腔體內尺寸 |
127mmX57mmX20mm |
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腔體外尺寸 |
150mmX80mmX32mm |
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腔體重量 |
不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG |
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腔體上視窗尺寸 |
Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） |
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腔體抽氣口 |
KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉接） |
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腔體真空測量口 |
KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉接） |
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腔體進氣口 |
6mm快擰 或 6mm快插 |
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腔體冷卻方式 |
腔體水冷+上蓋氣冷 |
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腔體水冷接口 |
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腔體正壓 |
≤0.05MPa |
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腔體真空度 |
機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
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樣品臺 |
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樣品臺材質 |
不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 |
銀銅合金 純銀塊 |
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樣品臺尺寸 |
26x26mm |
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樣品臺加熱方式 |
電阻加熱 |
電阻加熱 液氮制冷 |
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樣品臺-視窗 距離 |
11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） |
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樣品臺測溫傳感器 |
PT100型熱電阻 |
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樣品臺溫度 |
室溫到400℃ |
室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
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樣品臺測溫誤差 |
±0.5℃ |
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樣品臺升溫速率 |
高溫100℃/min 低溫7℃/min |
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