用途:在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫擴(kuò)散爐中用作器作的保護(hù)氣。高純氮在清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。
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