超純水設(shè)備通過多種技術(shù)組合來去除水中的雜質(zhì)，從而制造出高質(zhì)量的水。以下是超純水設(shè)備的主要工作原理和技術(shù)：

預(yù)處理。自來水首先通過預(yù)處理單元，去除水中較大的顆粒、懸浮物以及部分有機(jī)物。

反滲透。水通過反滲透單元，對水中的離子物質(zhì)和大分子物質(zhì)（如病毒、微生物等）進(jìn)行截留性去除。

離子交換。通過離子交換技術(shù)，對經(jīng)過膜去除后殘余的微少離子進(jìn)行純化和超純化，使水中的離子含量降低到痕量水平。

電去離子化（EDI）。EDI系統(tǒng)在直流電場的作用下，通過隔板的水中電介質(zhì)離子發(fā)生定向移動，利用交換膜對離子的選擇透過作用來對水質(zhì)進(jìn)行提純。

超濾。最后通過UV、超濾等技術(shù)確保超純水中的微生物、有機(jī)物和熱原滿足各類實驗應(yīng)用需求。

超純水設(shè)備的工藝流程通常包括預(yù)處理、反滲透、離子交換、終端超濾等單元，具體流程可能因設(shè)備類型和應(yīng)用領(lǐng)域而異。