六甲基二硅氮烷，英文縮寫HMDS，一種重要的有機硅化合物，最常用來增加光刻膠在品圓表面附著力的底漆層，易燃且燃點為6.7℃，當在空氣中的濃度為0.8%-16%時具有爆炸性，HMDS會強烈地與水、酒精和礦物質(zhì)酸反應釋放出氨水NH3，生成六甲基二硅醚。
在催化劑存在下，與醇或酚反應，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。
光刻膠應用六甲基二硅氮烷(HMDS)底涂通常在應用光刻膠之前使用。HMDS作為光刻膠粘合促進劑的用途。
UN編號：3286
危險性類別（主）：3
危險性類別（次）：6.1+8
包裝類別：Ⅱ
EmS No.：F-E，S-C
正確運輸名稱（中文）：易燃液體，毒性，腐蝕性，未另作規(guī)定的
正確運輸名稱（英文）：FLAMMABLE LIQUID, TOXIC,CORROSIVE, N.O.S.
HS CODE：2931900090 出口監(jiān)管條件：B （出口需要提供商檢） 出口退稅率:13%
六甲基二硅烷胺屬于危險化學品目錄產(chǎn)品。
