實(shí)力源多弧+中頻磁控濺射鍍膜機(jī):內(nèi)腔直徑1680*高度1200，主抽配置3臺(tái)400中科儀分子泵+1臺(tái)翠曼600羅次泵+2臺(tái)70南光機(jī)械泵，輔抽配置一臺(tái)翠曼300羅次泵+1臺(tái)70南光機(jī)械泵，配置10個(gè)佳寧250A弧電源，單邊裝有5個(gè)弧靶，對(duì)邊預(yù)留5個(gè)弧靶位，，配置4對(duì)中頻圓柱濺射靶，可裝10對(duì)，配置30KW眾鑫達(dá)中頻電源和30Kw偏壓電源，配置4路美國AE流量計(jì)，爐內(nèi)配加熱器，可達(dá)300℃，下轉(zhuǎn)架28桿，桿距160mm全自動(dòng)控制系統(tǒng)電柜