騰旋公司的半導體行業(yè)專用旋轉接頭又叫水/氣滑環(huán)接頭，在半導體工業(yè)、化學機械拋光機CMP、晶圓等制造領域廣泛應用；用于輸送研磨液、水、冷卻液、研磨殘渣液、壓縮空氣等流體。采用特種材質的機械密封方案，具有密封性好、壽命長、扭矩低、發(fā)熱量低、耐粉塵殘渣等特點，確�？蛻糁鳈C可靠性高，減少檢修頻次。
半導體行業(yè)M系列旋轉接頭
兩通路旋轉接頭
型號：ML02R008F
參數(shù)：
轉速：250rpm
介質：水 ，0.5MPa
扭矩：＜2N·m
溫升：30℃
流量：暫定
8通路旋轉接頭
型號：ML08R003F
參數(shù)：
轉速：200rpm
介質：真空 ，0.5bar
氮氣 ，1.4bar
空氣 ，1.4bar
扭矩：＜3N·m
溫升：30℃
泄漏量：＜1KPa/min
1999年騰旋從無到有，2009開始不斷提升制造能力，擁有了400多臺全球先進的加工設備，2019年開始大幅度提高試驗測試能力，目前己擁有30多臺測試設備，我們一直在路上。
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