PTL-VRK1000是一款高性價比的干法去膠設備，可用于尺寸6英寸及以下樣品表面的活化和清潔處理，等離子去膠的工作原理是將愛有光刻膠的外延片/品圓放置于真空反應系統(tǒng)中，通入少量氧氣，利用電壓放電，把氧氣(02)電離成激發(fā)態(tài)的氫原子(0)，然后氧原子和抗飩劑中的C和H快速反應，生成CO、CO2和H20等揮發(fā)性氣體，用真空泵抽走，以達到去膠的目的。等離子去膠不僅操作簡單去膠效率高、去膠后晶國表面于凈光潔而且無劃痕、成本低、環(huán)保，有利于確保產品的質量。
